CS 系列 光电、半导体、太阳能设备专用冷却机

适用机械种类

■ 高精度雷射焊接机。
■ 高科技产业薄膜制程冷却专用。
■ 各种光电、半导体及太阳能产业设备制程中的冷却。
■ 需求高纯度水质、高阻抗、去阴阳离子水的高科技产业设备专用冷却。

特性及功能

■ 特殊 PID 温度控制器，可使温度保持 ± 0.2 ℃。
■ 使用高压泵浦及回路泄压保护系统。
■ 使用SUS304/316板式热交换器可提升热交换率,维持水质纯净,不会产生锈蚀导致回路阻塞故障。
■ 所使用之离子交换树脂专用于半导体业之 DI 水，可将水质导电阻抗质保持在 10MΩ 以上。
■ 采用新型高效率环保冷媒,不污染环境。