适用机械种类
■ 半导体产业设备■ 低温制程加工设备■ CMP研磨材料设备■ 实验室低温实验设备■ 奈米等级电子制造及检测设备■ 化学材料制程设备(间接冷却恒温控制)
特性及功能
■ 使用温度范围+5~-20℃(低温限定:中低温-10~-20℃)。 ■ 可针对过冷饱和溶液进行恒温控制。 ■ 使用特殊材质轴封循环帮浦。 ■ 使用SUS304/316板式热交换器,提升热交换效率。 ■ 使用进口零件,强化使用可靠度。 ■ 具低温冷冻回路保护设计。